k1体育app下载年产能超万台 中科仪（南通）半导体设备有限责任公司加快干式真空泵国产化替代集成电路晶圆的制造需要高端的干式真空泵来获得洁净的真空环境，这样才能完成薄膜沉积、刻蚀、离子注入、光刻等超微工艺。位于南通高新区的中科仪(南通)半导体设备有限责任公司就是这样一家专注于高端干式真空泵研发、生产的科技创新型企业。8月31日，省委信长星来到这里调研，勉励企业继续聚焦产业前沿、深耕专业领域，突破更多关键核心技术，为提升产业链供应链韧性和竞争力作出新贡献。

　　走进中科仪（南通）公司的机加车间，一条FMS柔性生产线正在高效运行。几台数控机床一字排列，工作人员通过扫描二维码识别部件后选择对应的加工程序，设备就开始自动进行部件加工k1体育app下载。眼前展厅内看到的干式真空泵就是中科仪（南通）公司的最核心产品。由于集成电路领域各种制程会产生具有毒性、腐蚀性、可燃性、磨耗性、凝结性，甚至沉淀的固体颗粒物k1体育app下载，需要高端的干式真空泵产品来获得洁净真空环境，集成电路前道序生产线%设备，都需要干式真空泵这样的核心关键零部件。

　　中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司自2001年获得第一笔国家中小企业创新基金，开启了干式线年k1体育app下载，干式真空泵产品批量装备国内主流12英寸集成电路逻辑芯片晶圆厂，实现了产品国产化。2018年，公司成为国内首家向集成电路存储芯片晶圆厂批量供货的干式真空泵制造企业，奠定了行业龙头地位。2020年，企业投资10亿元在南通高新区设立全资子公司中科仪（南通）半导体设备有限责任公司，新建干式真空泵产业化建设项目，加快干式真空泵国产化替代的进程。

　　目前，中科仪（南通）是国内可以批量生产应用集成电路12英寸晶圆厂干式线月首台试生产产品下线，目前，企业年生产产能达1万台以上。经过多年积累，他们已经建立了系统完善的研发平台和科研队伍，具有自主研发真空泵核心技术的强大实力。构建了基础技术平台、测试技术平台和应用技术平台三大研发平台。平台涵盖从市场需求分析、产品设计到质量验证等全流程，能快速响应市场需求，保证产品质量。未来，中科仪（南通）将立足国家战略需求，服务高端装备制造业，继续坚持自主创新，以关键核心技术研发引领行业进步，为我国科技进步贡献力量。（记者 顾锋）